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  • 十二五國家02科技重大專項

    “45-28nm配線用超高純系列濺射靶材的開發與產業化”項目,列入國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項(02重大專項)。

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  • 十一五國家02科技重大專項

    2009年4月公司實施的“300mm硅片工藝用Al、Ti、Ta靶材制造技術研發與產業化”,列入國家極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項(02科技重大專項)。?..

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  • 國家高技術產業化發展項目

    為了打破國外企業的壟斷局面,填補國內液晶顯示器用靶材的空白,公司2009年開始實施年產5千個大尺寸液晶顯示器用靶材生產項目。項目列入國家高技術產業發展項目計劃,..

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  • 國家電子信息產業發展基金項目

    項目按照立項要求,開展各項研究任務,特別是在技術研究和創新方面,研究了金屬靶材的微觀組織結構(晶粒、織構)對半導體生產過程中濺射性能的影響,通過塑性加工以及熱處..

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  • 國家863重點項目

    項目研究了金屬靶材的微觀組織結構(晶粒、織構)對薄膜液晶顯示器生產過程中濺射性能的影響,通過塑性加工以及熱處理工藝來精確控制靶材的晶粒以及織構,并形成成熟穩定的..

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